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隨著現(xiàn)代電子工業(yè)的發(fā)展，空氣中的微小污染物成為了制程良率和設(shè)備壽命的重要影響因素。AMC空氣分析儀作為半導(dǎo)體行業(yè)中常用的一種檢測儀器，具有高靈敏度、高準(zhǔn)確度、快速反應(yīng)等特點，被廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)線上的空氣質(zhì)量控制。空氣分析儀的工作原理基于質(zhì)譜技...
溶解氧分析儀是一種用于測量水中溶解氧含量的精密測試設(shè)備，廣泛應(yīng)用于水質(zhì)監(jiān)測、環(huán)境保護(hù)、水產(chǎn)養(yǎng)殖等領(lǐng)域。它可以通過電化學(xué)或光譜法等技術(shù)，測量水體中氧氣分子的濃度，并將數(shù)據(jù)顯示在儀表上。分析儀的操作簡單，測試結(jié)果準(zhǔn)確可靠，是實驗室和生產(chǎn)線上重要...
光聲檢測器是一種利用光聲效應(yīng)進(jìn)行檢測的儀器。它可以通過激光或其他光源產(chǎn)生的光脈沖激發(fā)物體表面的聲波，進(jìn)而檢測出物體的形狀、大小、密度等參數(shù)。檢測器具有高分辨率、無損檢測、快速響應(yīng)等優(yōu)點，在醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、工業(yè)制造等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。光聲檢測...
示蹤氣體是在研究空氣流動時可以與空氣混合的氣體的總稱，可以在非常低的濃度下測量而本身沒有任何變化。示蹤氣體包括氯仿、二氧化氯、過氧乙酰硝酸酯、氧化氮、二氧化硫、氡氣和汞。由于示蹤氣體的總量非常小，它們的變化范圍可能非常大。空氣成分中變化最大...
傅立葉紅外光譜儀是利用物質(zhì)對不同波長的紅外輻射的吸收特性，進(jìn)行分子結(jié)構(gòu)和化學(xué)組成分析的儀器。通常由光源，單色器，探測器和計算機(jī)處理信息系統(tǒng)組成。根據(jù)分光裝置的不同，分為色散型和干涉型。對色散型雙光路光學(xué)零位平衡紅外分光光度計而言，當(dāng)樣品吸收...
實踐證明深紫外光刻工藝深受多種類微量污染物的影響，對很多微量污染物極為敏感，比如氨氣或者酸性氣體都會給半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來危害，盡管隨著深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展，已經(jīng)減少了長時間持續(xù)實時監(jiān)測，而實際上AMC空氣分析儀對空氣分子污染（AMC）的實...
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